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由于制氮装置切换周期较长， 制氮机部分气动阀动作较慢属正常现象，但如果气动阀打开时间大于30秒或阀位状态报警，认为气动阀或仪表气管路部件可能有故障。发现故障可按依次按照以下步骤进行检查：
（1）首先观察仪表气压力是否大于0. 4Mpa，如有多个阀门同时出现动作故障，则很可能是由于仪表气压力或仪表气总管道上出问题。
（2）PLC故障原因判断及处理方法：手动开关故障阀门多次，观察PLC输出点指示灯亮灭是否能与开关操作相对应，如不能对应则说明PLC输出故障。处理方法：与厂家相联系解决故障。
（3）制氮机电磁阀故障判断和处理方法：
a.制氮机电磁阀损坏故障：
判断方法：如 制氮机电磁阀指示灯响应不能与阀门开关操作相对应，则说明问题可能是电磁阀连线短路或电磁阀故障。
处理方法：首先检查 制氮机电路，排除 制氮机短路故障。如电路无故障则更换电磁阀：
b.制氮机电磁阀卡故障
判断方法：如 制氮机电磁阀指示灯响应情况与开关状态能够对应，但程控阀依然不动作，则说明有可能电磁阀被卡住或程控阀故障。此时可观察检查手动开关切换时，电磁阀的两个排气口的是否能交替排出气体，如可以交替切换排出气体，说明电磁阀完好，故障出在程控阀处。如电磁阀不能交替排出气体，则说明电磁阀被卡住。
处理方法：拆下电磁阀，拆开后清洗电磁阀内部。